新竹科學園區篤行路，曾是關東橋新兵訓練中心，多年前納入科學園區後，成為IC設計廠聚集的大本營，而在篤行路一棟看似普通的大樓之中，卻別有洞天，隱藏著讓半導體製程檢測技術突破的關鍵武器。
這家名為「兆晟奈米科技」的新創公司，成立於2017年，團隊來自工研院，雖然僅12個人，卻猶如「精兵部隊」，將搶攻半導體產業先進檢測的灘頭堡。
秘密武器 搶攻半導體前段檢測
兆晟奈米擁有國家級度量衡科研能力，開發的設備專門用來檢測半導體前段製程使用溶液中之奈米微粒，手中握有的秘密武器，是技轉自工研院的「新世代溶液奈米粒子監測系統─SuperSizer」，能協助半導體在20奈米以下製程「看」清楚諸多超細微粒，藉此調整製程，改善與避免缺陷問題。解決半導體製程持續微縮面臨的難題之一，幫助產業創新發展。
「新世代溶液奈米粒子監測系統」從實驗室到發展成為新創公司的核心技術，整整歷時5年時間，研發團隊的靈魂人物之一是兆晟技術長何信佳。2012年，當時在工研院任職的何信佳，為改善檢測缺陷，著手研發這項技術。何信佳回憶，最早只是一個構想，當時醞釀3個月，希望能改變20奈米製程以下許多看不見的檢測缺陷，沒想到誤打誤撞，一路用了5年的時間讓技術更精進，期間並獲得2015年全球百大科技研發獎（R&D100 Awards）入圍的肯定。後來，更遇上貴人加持，在工研院前輩牽線下，讓技術產品的發展獲得足夠的經費支持，特別是工研院支持，在創業的最後一哩路幫了不少忙，2017年，何信佳和夥伴正式催生成立兆晟。
兆晟由何信佳率領研發團隊擔任技術長，並延攬在LED業界資歷豐富的吳伯仁擔任總經理，協助開拓市場。並獲得半導體設備大廠致茂電子的青睞參與投資，兆晟資本額從初期2,000萬元，提升至2.2億元，其中致茂出資三分之二，是最大單一股東，並由致茂電子董事長黃欽明兼任兆晟董事長。
結合電子界醫生 效益1＋1大於2
兆晟令致茂青睞有加的關鍵因素是，「新世代溶液奈米微粒監控系統」技術發展，將有助半導體產業創新。它的原理是將化學溶液氣霧化，來量測化學溶液中的粒子粒徑及分布。這種新的量測手法，突破現行設備僅能偵測20奈米以上粒子的極限，將可量測粒子的範圍擴為3∼1,000奈米，奈米微粒檢測升級，縮短生產品質管控的摸索時間。
兆晟總經理吳伯仁形容，就像百年前羅伯特•虎克（Robert Hooke）發明顯微鏡，讓大家得知細菌的存在，發現細菌後，就能讓醫生進一步從種類來判斷病徵。兆晟獨家的技術就是這樣概念，提供客戶工具，將能夠突破過去20奈米以下看不見的情況、發現生產過程的癥結，進而對症下藥、改善生產品質。對於「良率即競爭力」的半導體產業而言，這項突破無異是業者的一大福音。
何信佳說，該系統也採用「氣膠粒子量測技術」，將化學溶液氣霧化後進行氣體粒子的量測，除能量測小到3奈米的微粒，這種方法還有一個好處，就是能避免將氣泡誤判為微粒，因為溶液霧化過程中氣泡會破裂，也解決傳統溶液監測會將微奈米氣泡影響混淆信號的問題。
兆晟掌握了檢測半導體製程中20奈米以下，甚至3奈米監控超細微粒的技術，結合「電子界醫生」致茂科技在半導體後段製程檢測，延伸至前段檢測應用，產生一加一大於二的效益……<more>
- 兆晟奈米股份有限公司
| 創辦人 | 黃欽明 |
| 資本額 | 2.2 億元 |
| 成立時間 | 2017 年 |
| 主要產品 | 半導體前段製程檢測設備 |
（本文作者為尹慧中，經授權轉載自《創業超新星》）
